半导体生产中RO膜污堵、脱盐率下降，EDI出水电阻率不稳定，如何解决？

建议同步处理RO膜和EDI模块。具体措施：更换全套RO膜元件并清洗膜壳；拆解EDI模块，更换树脂膜片、修复电极、更换密封件；技术人员现场调试水路电路和运行参数。某半导体企业实施后，RO产水水质稳定，EDI出水电阻率恢复至标准要求，设备运行压力正常、无报警，完全满足生产工艺用水。客户评价“维修及时，施工规范，水质达标稳定”。